单层结构

单层 (MB) 表示从结合层起就已经是整个涂层的结构(如TiN),或者在结合层之后再加一层氮化物(如TiN+AlTiN-MB)。

如果结合层已经是整个涂层,则所用的靶材都是相同的,并在整个沉积过程中运行。因此,这种涂层沉积是最快和最经济的。

单层涂层结构
梯度层结构

梯度层结构

涂层中的成分随着梯度结构(G)的变化不断变化。涂层由结合力和核心层组成。典型的梯度涂层是TiAlN/AlTiN-G。

多层结构

多层结构(ML)包括结合层和核心层。在结合层之后,连续沉积了几个(多个)层。

这些多层结构形成一个 “三明治“结构,吸收子层中的裂纹。

涂层更坚硬,但不像单层结构涂层那么坚硬。在多层中每个单层的厚度通常为50 - 100nm,例如AlCrN-ML。

多层结构
纳米多层结构

纳米多层结构

纳米多层结构(NL)是多层膜的一个更精细的版本,其层单层厚度小于20 nm。

涂层硬度取决于涂层厚度的调制周期。要增加硬度,调制周期应设置在10 nm 左右。

PLATIT所有使用金属靶材的涂层都具有NL纳米多层结构。

纳米复合结构

纳米复合结构(NC)由结合层和核心层组成。核心层由两相组成:硬的纳米晶颗粒(如TiN, TiAlN或AlCrN晶粒)嵌入到非晶的SiN基质中。柱状晶生长被阻止,形成了精细的晶体/非晶结构。

nACo就是纳米复合结构一个例子。

纳米晶复合结构
纳米晶复合结构示例

沙滩比对试验说明了可以通过纳米复合结构提高涂层硬度。一般情况下,在干的沙滩上脚会嵌入沙子中,然而脚却不会嵌入进湿的沙滩。

因为沙粒的间隙都被水分填满,所以表面会有很高的抗压能力,也就更坚硬。

TripleCoatings3三重膜结构

PLATIT的三重膜结构包括结合层、核心层(MB或G)和纳米复合顶层。

典型的涂层是nACo,可在Pi411涂层设备上使用。

三重膜结构
四重膜结构

QuadCoatings4四重膜结构:

在三重结构的基础上,PLATIT的四重结构还包含了有特殊用途的第四层。

这些涂层包括结合层、梯度核心层、多层核心层和纳米复合顶层。

一个典型的例子是TiXCo4。