Pi111
- 2 x LARC® PLUS (侧向旋转阴极PLUS) 用于电弧沉积
- 最大涂层区域 [mm]：ø353 x H498
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：414mm
- 最大载重：160kg
- 4 - 5 炉/天
- 外观尺寸 [mm]：W2000 x D1550 x H2250
Pi411
- ECO基本配置为门上安装3 支LARC®用于电弧沉积，可升级为PECVD / CERC® / OXI / SCIL® / LACS®
- 最大涂层区域 [mm]：ø 540 x H500
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：414mm
- 最大载重：200kg
- 最高 5 炉/天
- 外观尺寸[mm]：W2950 x D1900 x H2400
PL711
- 2 支平面溅射阴极配备有HIPIMS 技术
- PA3D 模式
- 最大涂层区域 [mm]：4x ø225 x H800
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：550mm
- 最大载重：250kg
- 2 炉/天
- 外观尺寸 [mm]： W3450 x D2250 x H2350
PL1011
- 4支平面阴极，运用电弧技术沉积涂层
- 最大涂层区域 [mm]：ø715 x H805
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：711mm
- 最大载重：400kg
- 3-4 炉/天
- 外观尺寸 [mm]：W4000 x D2250 x H2350
Pi1511
- 在门上的 3 支 LARC® XL 和在腔室后方的 2 支 平面电弧阴极
- 用于磁场自动调节的 MAC-3C 磁弧约束-线圈电流补偿
- 最大涂层区域 [mm]：ø715 x H805
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：711mm
- 最大载重：400kg
- 3 炉/天
- 外观尺寸 [mm]：W4900 x D2200 x H2450
我们所有的PVD 标准涂层设备对照表
Pi111
Pi411
PL711
PL1011
Pi1511
最大涂层区域 [mm]
ø 353 x
H 498ø 540 x
H 500ø 540 x
H 800ø 715 x
H 805ø 715 x
H 805最大载重 [kg]
160
200
250
750
750
装载量和运行周期
柄状刀具 (2 μm): ø 10 x 70 [mm]288 pcs.,
3 - 5 h504 pcs.,
≥ 4.5 h540 pcs.,
≥ 8 h,
with DLC21008 pcs.,
≥ 5.5 h1080 pcs.,
7 hARC 电弧技术
2 x LARC® PLUS 阴极
3 x LARC® 阴极, 可升级配置 1 x CERC® 阴极
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4 x 支平面阴极，可升级为双脉冲特性
3 x LARC® XL 阴极
2 x 平面阴极SPUTTER 溅射技术
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可升级配置1 x 中心 SCIL® 阴极
2 x平面阴极
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混镀 LACS® 技术，同时运行电弧和溅射工艺
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可做升级
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DLC类金刚石涂层
升级为 DLC1
DLC1, 可升级为PECVD (DLC2) 和ta-C 溅射涂层 (DLC3)
PECVD (DLC2)和 ta-C 溅射(DLC3)
DLC1
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OXI 氧化物涂层
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可升级做氧化物涂层
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氮化
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可做升级
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