同时进行电弧和溅射工艺的混镀,LACS® (LAteral ARC with Central SPUTTERING)技术结合了LARC®阴极和中心溅射SCIL®阴极的优点
侧向辉光放电诱发的溅射涂层
1 - 3: LARC® 阴极
4: SCIL® 阴极
侧向旋转阴极电弧涂层工艺和由侧向辉光放电诱发的溅射涂层共同沉积
1 - 3: LARC® 阴极
4: SCIL® 阴极
PLATIT是一家独立的家族企业,总部位于瑞士塞尔扎克(Selzach),是一家领先的高科技PVD和PECVD涂层设备制造商,涂层设备应用于工具和机械零部件领域。
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