Pi1511
Pi1511 è un'unità di rivestimento PVD ad alto volume. Combina tre catodi rotanti PLATIT LARC® XL posizionati all'interno della porta con due catodi ARCO planari nella parte posteriore della camera. La combinazione di catodi rotanti con catodi planari ad alte prestazioni consente la deposizione dei rivestimenti Signature di PLATIT con alta flessibilità. I catodi LARC® XL hanno una durata molto lunga e garantiscono quindi un'elevata produttività a basso costo per utensile.
Tecnologie applicate:
- 3 x LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) catodo all'interno della porta e
2 x catodi planari nella parte posteriore con tecnologia ARC - MAC-3C (Magnetic ARC Confinement – Coil Current Compensation) per la regolazione automatica del campo magnetico
- Sostituzione rapida dei catodi
- Deposizione di rivestimenti firma PLATIT
Tecnologie di etching applicate:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma etching con argon, glow discharge
- Etching con ioni metallici (Ti, Cr)
Carico e tempi ciclo:
- Volume di rivestimento massimo [mm]: ø715 x A805
- Altezza massima del rivestimento con spessore del rivestimento definito: 711mm
- Carico massimo: 400kg
- 3 cariche/giorno
Sistemi caroselli modulari:
- Da 1 a 12 satelliti
Software:
- Utilizzo e manutenzione semplici
- SmartSoftware di PLATIT (sistema PC e PLC)
- Sistema di controllo moderno con touch screen
- Le statistiche e la guida aiutano tramite l'interfaccia utente
- Registrazione dei dati e visualizzazione in tempo reale dei parametri e del flusso di processo
- Controllo di processo manuale e automatico
- Diagnostica e manutenzione remote
Dimensioni macchina:
- Ingombro [mm]: L4900 x P2200 x A2450