LARC® e CERC® sono i marchi registrati di PLATIT per i catodi cilindrici rotanti all'interno della porta e al centro della camera di rivestimento, depositando con tecnologia ad ARCO.
Tutte le unità di rivestimento Pi di PLATIT funzionano sulla base dei rivoluzionari catodi LARC® (LAteral Rotating Cathode). Pi411 è aggiornabile con un CERC® (Central Rotating Cathode).
Rispetto ai catodi convenzionali con altri tipi di target, i catodi rotanti presentano numerosi vantaggi:
- La composizione del rivestimento tramite target non legati è programmabile in modo flessibile
- Superficie target più ampia ed efficace (pi x d) a lunghezza target costante h (pi x d x h) estende la durata di vita di un target
- Eccellente controllo e stabilità del processo
- Migliore adesione del rivestimento mediante attacco LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Distribuzione omogenea dello spessore del rivestimento verticale all'interno della camera
- È possibile il posizionamento centrale del catodo come CERC® (catodo rotante centrale)
