Che cos'è un rivestimento
Un rivestimento è un film protettivo sottile volto a migliorare le proprietà della superficie di un materiale base,
IN TERMINI DI:
- Durezza
- Resistenza all'ossidazione
- Coefficiente d'attrito
- Resistenza alla rottura
- Stabilità chimica
Ad esempio, il rivestimento di un utensile da taglio consente velocità di taglio più elevate, con conseguente maggiore produttività e maggiore durata di un materiale di base.
Processo di rivestimento
1
Caricamento
La camera di rivestimento viene caricata
2
Vuoto
È richiesto un alto vuoto quando si depositano i rivestimenti PVD.
Il vuoto in unità di rivestimento di PLATIT avviene in due fasi:
- La pompa rotativa a palette genera una pressione di ingresso nella camera (da 100 a 10-2 mbar)
- La pompa turbomolecolare genera un alto vuoto di circa 1 x 10-5 mbar
3
Riscaldamento
La camera viene riscaldata; le temperature di processo sono circa 150 - 500°C
4
Plasma etching
Le unità di rivestimento di PLATIT funzionano con tre diversi processi di etching:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma etching con argon, glow discharge
- Etching con ioni metallici (Ti, Cr)
5
Deposizione del rivestimento
Deposizione del rivestimento con processi PVD (tecnologia ARCO, SPUTTER o LACS® ibrida) o PECVD
6
Raffreddamento
Raffreddamento della camera di rivestimento
7
Scarico
La camera di rivestimento è vuota
LGD® etching
Lateral Glow Discharge è il processo di etching brevettato nelle unità di rivestimento di PLATIT
L'etching con LGD® può trattare anche superfici e cavità complesse, oltre ai bordi e agli angoli (ad esempio, di creatori, stampi e matrici), grazie al plasma ad alta densità di ioni, generato da un flusso di elettroni tra due catodi.
Schermi:
- I target vengono puliti accendendo un ARCO dietro uno schermo sulla superficie del target senza contaminare gli utensili
- Lo schermo si apre dopo il processo di pulizia del target, il che crea le condizioni ideali per un'adesione ottimale del rivestimento
