Vergleich all unserer PVD-Serienanlagen

  • Vergleich all unserer PVD-Serienanlagen
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  • Pi111

    Pi411

    PL711

    PL1011

    Pi1511

  • Max. Beschichtungs-Volumen [mm]

    ø 353 x
    H 498

    ø 540 x
    H 500

    4 x ø 225 x
    H 800

    ø 715 x
    H 805

    ø 715 x
    H 805

  • Max. Beladung [kg]

    160

    200

    250

    400

    400

  • Beladung und Zykluszeiten bei Schaft-Werkzeugen (2 μm): ø 10 x 70 [mm]

    288 Stück,
    4,5 h

    504 Stück,
    4,5 h

    540 Stück,
    11 h,
    mit CrN

    1008 Stück,
    7 h

    1080 Stück,
    7 h

  • ARC-Technologie

    2 x LARC® PLUS-Kathoden

    3 x LARC®-Kathoden,
    erweiterbar mit 1 x CERC®-Kathode

    -

    4 x Planare Kathoden

    3 x LARC® XL-Kathoden,
    2 x Planare Kathoden

  • SPUTTER-Technologie

    -

    Erweiterbar mit 1 x zentraler SCIL®-Kathode

    2 x Planare Kathoden

    -

    -

  • Hybrid-LACS®-Technologie mit simultanen ARC- und SPUTTER-Prozessen

    -

    Ja, erweiterbar

    -

    -

    -

  • DLC

    -

    Erweiterbar für ta-C gesputtert (DLC3) und für PECVD (DLC2)

    PECVD (DLC2) und ta-C gesputtert (DLC3)

    -

    -

  • OXI

    -

    Erweiterbar für oxidische Schichten

    -

    -

    -