Pi1511
Die Pi1511 ist eine grossvolumige PVD-Beschichtungsanlage. Sie kombiniert drei rotierende PLATIT LARC® XL-Kathoden in der Tür mit zwei Planaren ARC-Kathoden im hinteren Bereich der Kammer. Die Vereinigung von Rundkathoden mit leistungsstarken Planaren Kathoden erlaubt das Abscheiden von PLATIT Signature Coatings in der gewohnten Flexibilität. Die LARC® XL-Kathoden haben eine sehr lange Laufzeit und garantieren somit hohe Produktivität mit niedrigen Kosten pro Werkzeug.
Eingesetzte Technologien:
- 3 x LARC® XL-Kathoden (LAteral Rotating XL Cathode) in der Tür und
2 x Planare Kathoden im hinteren Bereich zur ARC-Beschichtung - MAC-3C (Magnetic ARC Confinement – Coil Current Compensation) für automatisierte Magnetfeldanpassung
- Schnelle Kathodenwechsel
- Abscheidung von ausgewählten PLATIT Signature Coatings
Eingesetzte Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Beladung und Zykluszeiten:
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø715 x H805
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711mm
- Max. Beladung: 400kg
- 3 Chargen/Tag
Modulare Karussellsysteme:
- 1 bis 12 Achsen
Software:
- Einfache Bedienung und Wartung
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Moderner menügeführter Touchscreen
- Statistik und Hilfefunktion über Bedienoberfläche
- Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und -wartung
Maschinendimensionen:
- Footprint [mm]: B4900 x T2200 x H2450