PL711
Die PL711 ist eine kompakte SPUTTER-Beschichtungsanlage auf Basis der HiPIMS-Technologie (High Power Impulse Magnetron SPUTTERING). Sie verfügt über zwei Planare HiPIMS-Kathoden und erlaubt die Abscheidung von ausgewählten Nitrid- und Kohlenstoffschichten (DLC2, DLC3) mittels hochproduktiver Prozesse. Eine gute Plasmaausnutzung wird dank eines zusätzlichen Boosters, dem PLATIT-3D-Modul, erzielt.
Das PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes, dreidimensionales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell und erzeugt damit eine homogene Beschichtung und hohe Beschichtungsrate. Beschichtungen aus der PL711 liefern exzellent glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Dichte, Härte und hervorragender Haftung.
Eingesetzte Technologien:
- 2 x Planare SPUTTER-Kathoden
- HiPIMS-Technologie
- Das PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes und homogenes dreidimensionales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell
Eingesetzte Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Abscheidungsarten:
SPUTTER Nitrid-Beschichtungen
- Reaktive und nichtreaktive Prozesse
- Targets: Ti, Cr
- Beschichtungstemperatur 400°C oder <200°C in Niedrigtemperatur-Ausführung
SPUTTER Cr und a-C:H:Si
- DLC2 (PECVD)
- Targets: Cr
- Beschichtungstemperatur [°C]: 180-220
SPUTTER Cr und ta-C + a-C
- DLC3
- Targets: C, Cr
- Beschichtungstemperatur [°C]: 180-250
Beladung und Zykluszeiten:
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: 4x ø225 x H800
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 550mm
- Max. Beladung: 250kg
- 2 Chargen/Tag
Modulare Karussellsysteme:
- 1 oder 3 oder 6 Achsen
Software:
- Einfache Bedienung und Wartung
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Moderner menügeführter Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und -wartung
Maschinendimensionen:
- Footprint [mm]: B3450 x T2250 x H2350