Pi411
Die Pi411 PLUS ist mit ihrem modularen Aufbau und dem Mix an verfügbaren Technologien die flexibelste Beschichtungsanlage der Welt. Die Basis-Konfiguration als ARC-Anlage mit drei rotierenden Kathoden in der Tür lässt sich vor Ort modular mit einer ARC- oder SPUTTER-Zentralkathode sowie mit PECVD-, und OXI-Prozessen aufrüsten. Einzigartig für die Anlage ist auch die Verfügbarkeit der LACS®-Hybridtechnologie, die das gleichzeitige Beschichten mittels ARC- und SPUTTER-Technologien ermöglicht.
Die vielfältigen Konfigurationsoptionen und die mit Rundkathoden erzielte Flexibilität sind ein Garant für die Entwicklung kundenspezifischer Beschichtungen auf höchstem Leistungsniveau. Diese Anlage ist daher die ideale Wahl für Kunden, die keine technologischen Kompromisse eingehen möchten und Wert auf ein Maximum an Flexibilität sowie Performance legen.
Konfigurationen:
ECO:
Basis-Konfiguration mit 3 x LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode) in der Tür zur ARC-Beschichtung
PECVD (DLC2):
Für a-C:H:Si-Beschichtungen
TURBO:
ECO + CERC®-Kathode (Central Rotating Cathode) mit ARC-Technologie für erhöhte Produktivität sowie hochkomplexe Schichten
OXI:
Für oxidische Schichten in Korund-Struktur
SCIL®:
Hochleistungs-SPUTTERING aus der zentralen Kathode
Hybrid-LACS®:
Simultane ARC- und SPUTTER-Prozesse mit LARC®-Kathoden in der Tür und zentraler SCIL®-Kathode, u. a. für ta-C-Beschichtungen
Eingesetzte Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Beladung und Zykluszeiten:
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø540 x H500
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414mm
- Max. Beladung: 200kg
- Bis zu 5 Chargen/Tag
Modulare Karussellsysteme:
- 1 bis 14 Achsen
Software:
- Einfache Bedienung und Wartung
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Moderner menügeführter Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und -wartung
Maschinendimensionen:
- Footprint [mm]: B2950 x T1900 x H2400