LARC® und CERC® sind die geschützten Markennamen von PLATIT für rotierende zylindrische Kathoden mit ARC-Technologie in der Kammertür und in der Mitte der Beschichtungskammer.
Alle Pi-Anlagen von PLATIT arbeiten auf Basis dieser revolutionären LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode).
Pi411 ist erweiterbar mit CERC® (Central Rotating Cathode).
Gegenüber herkömmlichen Kathoden weisen rotierende Kathoden mehrere Vorteile auf:
- Zusammensetzung einer Schicht durch unlegierte Targets flexibel programmierbar
- Grössere effektivere Target-Oberfläche (pi x d) bei gleichbleibender Target-Länge h (pi x d x h) verlängert die Target-Lebensdauer
- Hervorragende Prozesskontrolle und -stabilität
- Verbesserte Schichthaftung durch LGD®-Ätzen (Lateral Glow Discharge)
- Homogene vertikale Schichtdickenverteilung in der Beschichtungskammer